对大部分半导体来说，电浆 (Plasma) 处理仍是标准工艺之一。利用气体的物理特性或化学沉积，改变材料表面结构、蚀刻、溅镀或离子布植 (Ion implantation)，以提高电子组件的可靠度、稳定度及工作寿命。要评估电浆工艺是否到位？传统方法是量测蚀刻深度或接触角度，不仅作业耗时、且设备十分昂贵或有欠精准。有鉴于此，Sakura Color Products Corporation 推出名为＂PLAZMARK＂的电浆感测片 (Plasma Indicator)，可让电浆藉由色阶变化一目了然，提高生产效率。
Sakura PI 事业部课长大城盛作 (SEISAKU OSHIRO) 解说，＂Plasma Indicator＂的概念是，利用一种功能性色材，藉由自由基 (radicals) 或离子反应，将电浆处理的程度予以可视化，更便于判读——颜色会由深转浅，依序从灰紫、深绿到浅绿，随着每次电浆强度逐渐变化。感测片有卡式和圆片形两种，前者可解决二维平面难以用光学方式量测的问题，后者能取代电磁探棒做大面积评估；除了供周期或维运查核之用，特别适合难以量测的场域、3D 立体待测物及异常放电侦测。
资料来源：Sakura Color Products Corporation 提供
大城表示，采用会随电浆体变色的＂PLAZMARK＂色材 (台湾销售业务由昱凯科技代理)，是黏着与组装流程最佳伙伴，应用范畴涵盖：氧 (O2)／氩 (Ar) 清洗、大气电浆、耐热卷标和圆片形组件。氧 (O2)／氩 (Ar) 清洗对于打线或覆晶表面处理、填充胶前清洁、电子组件封装更是功不可没，亦可用于紫外线 (UV) 或臭氧 (UV-ozone) 清洗；在电路板、平面显示器 (FPD) 及薄膜表面改良之大面积＂常压＂大气电浆处理。
资料来源：Sakura Color Products Corporation 提供
＂PLAZMARK＂也发展无机色材，为气体不易挥发及高热阻特性 (耐热可达 200℃) 的优选结合；兼具弹性与黏性的软性卷标，可随需贴附于弧形的非平面区域，通过不同气体的不同颜色变化来评估电浆效果。此外，因为电子密度和兰摩尔探针 (Langmuir probe) 量测结果具有正相关，经由比对电浆前、后的色差与电子密度，亦可获悉电浆分布状态。大城透露，Sakura 正在开发直径为 4 吋和 6 吋的陶瓷基板上，涂布不含有机物质之色材、耐热可达 400℃！
这对 LED 或微机电 (MEMS) 工艺是一大福音，硅材或蓝宝石基板皆适用，同样能借助视觉和量化评估均质性 (uniformity)。另一款直径为 200mm / 300 mm 的无金属 (Metal Free) 色材则试图根除金属成份，冀提高硅半导体的电浆清洗净化度。大城强调，协助设计或升级设备、发展电浆参数、排除电浆系统障碍、日常或周期例行查核以及产出品管，是 Sakura 多年来的企业愿景。
图3：＂PLAZMARK＂色材可用于多种情境的电浆处理
图2：＂Plasma Indicator＂有卡式和圆片形两种，各适其所
资料来源：Sakura Color Products Corporation 提供
图1：传统评估电浆效果的方法既耗时、且设备十分昂贵或有欠精准
