Cymer与卡尔—蔡司合组TCZ合资公司

本文作者:admin       点击: 2005-08-10 00:00
前言:
lt;b>廖惠如</b>




有鉴于缺乏低成本的低温多晶硅制程,造成系统整合面板(SOP)(或为主动式液晶显示器与逻辑电路整合)及有机发光二极管显示器(OLED)的量产时程延宕, 新成立的TCZ公司将以细光束结晶激光回火设备填补此段技术成本上的不足。TCZ公司营运总部将坐落在圣地亚哥,将会由前Cymer公司前瞻技术与应用部执行副总经理布莱恩·克里尼(Brian Klene)来担任其执行长(照片人物)。克里尼向由Cymer和卡尔·蔡司SMT公司高阶主管所组成的TCZ公司董事会报告。Cymer公司拥有合资企业60%的股份,卡尔·蔡司SMT公司拥有合资企业40%的股份。
TCZ将利用Cymer公司在市场上领先的准分子光源技术、卡尔·蔡司SMT公司出类拔萃的光学系统及卡尔·蔡司IMT公司先前被市场认证的移动与控制机台能力,来整合出可表现低温多晶硅(LTPS)技术的细光束结晶的激光回火设备。TCZ细光束结晶技术比之前业界所采用的制程技术有更大的突破,它可将产量与品质提升一倍,也大大节省了费用。
TCZ公司第一台有效降低LTPS制造成本的细光束结晶工具TCZ-900X将于2005年第四季提供客户测试评估,2006年年中量产。TCZ-900X对诸如准分子激光回火(ELA)与连续侧向结晶(SLS)等现有结晶技术提供新一代优异的方案, TDX-900X设备业务将会由分布在韩国、日本、中国台湾及中国大陆的TCZ客户服务架构来支持。
克里尼表示:”低温多晶硅(LTPS)显示器厂商同时拥有多晶硅-“有效成本降低及量产能力”两个固有优点,TCZ-900X证明双方为产业客户未来顺利移转到系统整合型面板(SOP)和有机发光二极管(OLED)显示器的生产奠定坚实的技术基础。”
DisplaySearch研究指出,预计平面显示器(FPD)市场的全球收入将从2004年的622亿美元提高到2008年的934亿美元。普遍预期低温多晶硅液晶显示器(LTPS LCD)和主动矩阵有机发光显示器(AMOLED)部分在2004年到2008年的复合年成长率(CAGR)将是13%与362%。