随着奈米技术的逐渐发展，MEMS级产品的量产也已不再是纸上谈兵而已。当然，除了来自市场需求的诱因之外，各种MEMS制程设备与技术的商品化的实现自然也是不容忽视的幕后推手。
在今年五月份，In-Stat/MDR曾就2002-2007间全球MEMS市场的发展前景提出了令人关注的预测数字；该单位预估在从2003到2007年的5年间，全球MEMS市场的年复合成长率将达到17.1的百分比。
事实上，专业从事MEMS制程设备为主的英国STS(Surfacing Technology Systems plc.；以下简称STS) CEO Ian Smith更进一步地指出，全球MEMS组件的需求将有机会在两年内达到百分之四十五的复合成长率；在这样的乐观宣示之下，让我们不禁对STS的经营实力产生了高度的兴趣。
透过和该公司的亚洲区销售经理Martin Ryan博士、MEMS产品行销工程师Richard Barnett先生，以及来自该公司在台代理伙伴-佳霖科技股份有限公司的产品处长朱增基先生的一番晤谈，让我们对STS在MEMS制程设备领域的核心能力及其续发展规划，有了更深一歩的认识。
MEMS制造设备的先锋
成立于1984年的STS，由于长期以来对于设计及制造M0EMS制程所需生产设备的投入，使得该公司已成为拥有MEMS制程能力的厂商们，不可或缺的重要支柱。不同于其它专注于晶圆制造生产设备的业者，该公司所提供的主要产品与服务范围，主要是以非当前主流半导体市场的新兴制程为主(参见表1)。
事实上，该公司除了生产MEMS制程所需的生产设备之外，凭借着该公司本身对于深次微米蚀刻等先进技术的掌握，也分别投入了光电、通讯、高阶封装制程等成长中的应用领域所需制程设备的研发与制造工作。
以该公司本次在SEMICON Taiwan 2003所展出的新一代深硅蚀刻与沉积工具-Pro系列(Pro Family)为例；它除了能和该公司原有的ASE(先进硅蚀刻)技术兼容，使得客户有能力透过此一设备来完成包括加速器、陀螺仪、光波岛等MEMS级组件的制造之外，也能够进一步地让生产厂商降低每个晶圆与组件的整体制造成本，同时也间接地促进了MEMS组件量产化的实现。由于Pro系列当中分别对于从研发、试产到量产等不同阶段的MEMS制程需求提供相应的设备平台；因此，它能够从组件的开发到作业流程的发展初期，就和有心投入MEMS组件制造的业者一同进行相应的开发与配套安排，由于该公司在制程开发过程中与实际量产所需的生产设备皆可尤其Pro系列成员的不同产品来加以满足，所以STS能够确保提供给客户的制程设备，在产品投产过程中的不同阶段皆能够有稳定的设备作业效率与兼容性，减少了传统上从实验室结果移转到实际生产在线量产时所可能产生的误差。
若从该公司的经营模式来看，我们可以发现其成功除了在于本身对深硅蚀刻等MEMS相关技术的长期研发投入，另一个关键乃是来自该公司拥有一组能够从组件构想初期即能够与客户协同设计，并能够在实际制程设备导入及后续维护等工作上提供优质服务的技术团队(参见表2)。事实上，包括该公司在台湾地区的代理伙伴佳霖科技本身在内，也同样有一组十余人由朱增基先生率领的技术支持团队，来协同STS方面的技术能量，一同与本地的业者共同投入STS所提供的MEMS制程设备的导入工作。
发展前景
随着MEMS技术的开发与制程设备的进步，采用MEMS制程的组件将从现有的车用感测装置、喷墨打印机的喷头、陀螺仪等，逐步朝向微型的光学交换器、RF交换器等更多元的MEMS应用。因此，STS对于全球MEMS全球市场的发展前景也始终抱持着审慎乐观的态度。
就在华新丽华及亚太优势等新兴厂商先后投入对于MEMS级组件代工市场，以及来自TSMC、UMC等现有晶圆代工厂商对于MEMS制程及产能建立的高度关注，我们可以预期此一市场日后的发展潜力。经过多年来在MEMS等相关技术领域的深耕与茁壮，STS所生产的制程设备已被诸如Infineon、Agere、Philips、ST、Seiko-Epson等欧、美MEMS组件与应用系统的制造业者广泛地采用。随着亚太市场逐步取代欧美成为新一波的成长来源，STS也开始与本地的合作伙伴紧密合作，随着本地在晶圆代工等半导体制造领域所缔造的成绩以及若干以MEMS代工为主要业务的厂商陆续成立之后，STS在台湾及亚太市场的发展潜力，值得我们拭目以待。
在今年五月份，In-Stat/MDR曾就2002-2007间全球MEMS市场的发展前景提出了令人关注的预测数字；该单位预估在从2003到2007年的5年间，全球MEMS市场的年复合成长率将达到17.1的百分比。
事实上，专业从事MEMS制程设备为主的英国STS(Surfacing Technology Systems plc.；以下简称STS) CEO Ian Smith更进一步地指出，全球MEMS组件的需求将有机会在两年内达到百分之四十五的复合成长率；在这样的乐观宣示之下，让我们不禁对STS的经营实力产生了高度的兴趣。
透过和该公司的亚洲区销售经理Martin Ryan博士、MEMS产品行销工程师Richard Barnett先生，以及来自该公司在台代理伙伴-佳霖科技股份有限公司的产品处长朱增基先生的一番晤谈，让我们对STS在MEMS制程设备领域的核心能力及其续发展规划，有了更深一歩的认识。
MEMS制造设备的先锋
成立于1984年的STS，由于长期以来对于设计及制造M0EMS制程所需生产设备的投入，使得该公司已成为拥有MEMS制程能力的厂商们，不可或缺的重要支柱。不同于其它专注于晶圆制造生产设备的业者，该公司所提供的主要产品与服务范围，主要是以非当前主流半导体市场的新兴制程为主(参见表1)。
事实上，该公司除了生产MEMS制程所需的生产设备之外，凭借着该公司本身对于深次微米蚀刻等先进技术的掌握，也分别投入了光电、通讯、高阶封装制程等成长中的应用领域所需制程设备的研发与制造工作。
以该公司本次在SEMICON Taiwan 2003所展出的新一代深硅蚀刻与沉积工具-Pro系列(Pro Family)为例；它除了能和该公司原有的ASE(先进硅蚀刻)技术兼容，使得客户有能力透过此一设备来完成包括加速器、陀螺仪、光波岛等MEMS级组件的制造之外，也能够进一步地让生产厂商降低每个晶圆与组件的整体制造成本，同时也间接地促进了MEMS组件量产化的实现。由于Pro系列当中分别对于从研发、试产到量产等不同阶段的MEMS制程需求提供相应的设备平台；因此，它能够从组件的开发到作业流程的发展初期，就和有心投入MEMS组件制造的业者一同进行相应的开发与配套安排，由于该公司在制程开发过程中与实际量产所需的生产设备皆可尤其Pro系列成员的不同产品来加以满足，所以STS能够确保提供给客户的制程设备，在产品投产过程中的不同阶段皆能够有稳定的设备作业效率与兼容性，减少了传统上从实验室结果移转到实际生产在线量产时所可能产生的误差。
若从该公司的经营模式来看，我们可以发现其成功除了在于本身对深硅蚀刻等MEMS相关技术的长期研发投入，另一个关键乃是来自该公司拥有一组能够从组件构想初期即能够与客户协同设计，并能够在实际制程设备导入及后续维护等工作上提供优质服务的技术团队(参见表2)。事实上，包括该公司在台湾地区的代理伙伴佳霖科技本身在内，也同样有一组十余人由朱增基先生率领的技术支持团队，来协同STS方面的技术能量，一同与本地的业者共同投入STS所提供的MEMS制程设备的导入工作。
发展前景
随着MEMS技术的开发与制程设备的进步，采用MEMS制程的组件将从现有的车用感测装置、喷墨打印机的喷头、陀螺仪等，逐步朝向微型的光学交换器、RF交换器等更多元的MEMS应用。因此，STS对于全球MEMS全球市场的发展前景也始终抱持着审慎乐观的态度。
就在华新丽华及亚太优势等新兴厂商先后投入对于MEMS级组件代工市场，以及来自TSMC、UMC等现有晶圆代工厂商对于MEMS制程及产能建立的高度关注，我们可以预期此一市场日后的发展潜力。经过多年来在MEMS等相关技术领域的深耕与茁壮，STS所生产的制程设备已被诸如Infineon、Agere、Philips、ST、Seiko-Epson等欧、美MEMS组件与应用系统的制造业者广泛地采用。随着亚太市场逐步取代欧美成为新一波的成长来源，STS也开始与本地的合作伙伴紧密合作，随着本地在晶圆代工等半导体制造领域所缔造的成绩以及若干以MEMS代工为主要业务的厂商陆续成立之后，STS在台湾及亚太市场的发展潜力，值得我们拭目以待。
