将电浆制程科技运用在先进电子设备之制造和封装的巨擘Surface Technology Systems plc (STS)公司，宣布已接获来自微机电系统 (MEMS) 生产设备制造业者价值超过200万英镑的订单。
该订单包括多个Pegasus的反应制程腔体，主要用于消费性成品的MEMS深硅微加工技术。Pegasus提供较其它市面上深硅蚀刻离子反应式蚀刻机台更高的蚀刻率。STS 提供两种多腔体式平台做为多腔体操作之用：VPX 含有一个真空芯片匣和多达3个反应腔体，CPX 则有两个真空匣和多达4个反应腔体。
STS执行长John Saunders说："接获此订单让我们非常兴奋，不仅因为这是STS接获最大的订单之一，也代表了我们这项8个月前推出的新产品得到业界肯定，获得了巨大的成功。这份订单也证实了我们的多反应腔体系统足以满足量产客户的需求。"
STS 业务行销总监David Haynes补充说："我们视此订单为对MEMS主制造业者成功利用或销售其设备，做为汽车或消费产品等大量用途的进一步肯定。"
这份新订单将使得STS目前的订货单金额超过1200万英镑，它们都在2006 年交货，大部分在今年上半年。这是STS自2001年以来最高的订货单水平。
STS设计并生产一系列结合创新技术之专门系统设备，应用范围遍及半导体与相关设备之制造；STS也是处理非"主流"半导体设备之电浆蚀刻与沉积技术之龙头。STS在电信、数据储存、先进封装、MEMS与奈米科技等新兴领域，均提供一系列之应用。
STS在日渐成长的MEMS市场之硅晶深层蚀刻领域居于领先地位，提供具有专利保护之技术。此外，STS在其它提供服务的市场中也占有显著地位，并透过经验卓著之销售与服务部门，为全球各地之客户提供制程解决方案。STS集团目前经营领域遍及全世界30多国，所安装之系统超过900部。如欲了解更多关于STS之详情，请浏览：http://www.stsystems.com。
该订单包括多个Pegasus的反应制程腔体，主要用于消费性成品的MEMS深硅微加工技术。Pegasus提供较其它市面上深硅蚀刻离子反应式蚀刻机台更高的蚀刻率。STS 提供两种多腔体式平台做为多腔体操作之用：VPX 含有一个真空芯片匣和多达3个反应腔体，CPX 则有两个真空匣和多达4个反应腔体。
STS执行长John Saunders说："接获此订单让我们非常兴奋，不仅因为这是STS接获最大的订单之一，也代表了我们这项8个月前推出的新产品得到业界肯定，获得了巨大的成功。这份订单也证实了我们的多反应腔体系统足以满足量产客户的需求。"
STS 业务行销总监David Haynes补充说："我们视此订单为对MEMS主制造业者成功利用或销售其设备，做为汽车或消费产品等大量用途的进一步肯定。"
这份新订单将使得STS目前的订货单金额超过1200万英镑，它们都在2006 年交货，大部分在今年上半年。这是STS自2001年以来最高的订货单水平。
STS设计并生产一系列结合创新技术之专门系统设备，应用范围遍及半导体与相关设备之制造；STS也是处理非"主流"半导体设备之电浆蚀刻与沉积技术之龙头。STS在电信、数据储存、先进封装、MEMS与奈米科技等新兴领域，均提供一系列之应用。
STS在日渐成长的MEMS市场之硅晶深层蚀刻领域居于领先地位，提供具有专利保护之技术。此外，STS在其它提供服务的市场中也占有显著地位，并透过经验卓著之销售与服务部门，为全球各地之客户提供制程解决方案。STS集团目前经营领域遍及全世界30多国，所安装之系统超过900部。如欲了解更多关于STS之详情，请浏览：http://www.stsystems.com。
