FSI国际有限公司日前宣布：一家世界领先的美国IC制造商已经向其发出一份订单，订购多套该公司的200/300mm MAGELLAN®浸泡式清洗系统，此项订单缘于MAGELLAN系统领先同类产品的微粒去除能力及刻蚀均匀度。该机台将用于芯片生产，预计将于FSI国际的2007财年上半年发运。
“该客户此前在其工厂中对MAGELLAN系统进行了全方位的评估，其结果是非常成功的，此项订单正是对MAGELLAN卓越的工艺性能的进一步证明”。FSI国际董事长兼首席执行官Don Mitchell说到。“我们之所以打入十亿美元的湿法平台市场，是因为我们相信当时提供的技术还需完善。这份订单充分证明了在成熟的市场中，仍然为一家供应商留有通过提供带有超群工艺性能的差异化产品的进入机会。”
MAGELLAN系统是一个200/300mm混用型机台，系统具有无比的工艺性能和可配置性，它为应对高级IC研发和制造所带来的挑战而专门设计。其领先业界的性能源于FSI独有的表面张力剃度(STG™)清洗/干燥、SymFlow™刻蚀和MegaLens™超音波技术。MAGELLAN系统制程在各种类型的表面都不会留有水印，可实现高精度、超均匀膜刻蚀、高微粒去除效率以及异常瑕疵的控制。MAGELLAN系统售价范围从150万到500万美元，价格取决于组件数量和最终配置。
FSI国际有限公司是一家为微电子制造提供表面处理设备技术及支持服务的全球性的供应商。通过使用公司的多晶圆批量和单晶圆的浸泡式、旋转喷雾式、汽相和超凝态过冷动力学等一整套清洗技术产品组合，客户能够实现他们的工艺性能、灵活性和生产能力目标。公司推出的支持服务项目包括了产品及工艺的提升，从而延长已安装的FSI设备的使用寿命，使世界范围内的客户的资本投资获得更高的回报。
FSI国际有限公司网址：http://www.fsi-intl.com.
FSI国际有限公司中文网址：http://china.fsi-intl.com
“该客户此前在其工厂中对MAGELLAN系统进行了全方位的评估，其结果是非常成功的，此项订单正是对MAGELLAN卓越的工艺性能的进一步证明”。FSI国际董事长兼首席执行官Don Mitchell说到。“我们之所以打入十亿美元的湿法平台市场，是因为我们相信当时提供的技术还需完善。这份订单充分证明了在成熟的市场中，仍然为一家供应商留有通过提供带有超群工艺性能的差异化产品的进入机会。”
MAGELLAN系统是一个200/300mm混用型机台，系统具有无比的工艺性能和可配置性，它为应对高级IC研发和制造所带来的挑战而专门设计。其领先业界的性能源于FSI独有的表面张力剃度(STG™)清洗/干燥、SymFlow™刻蚀和MegaLens™超音波技术。MAGELLAN系统制程在各种类型的表面都不会留有水印，可实现高精度、超均匀膜刻蚀、高微粒去除效率以及异常瑕疵的控制。MAGELLAN系统售价范围从150万到500万美元，价格取决于组件数量和最终配置。
FSI国际有限公司是一家为微电子制造提供表面处理设备技术及支持服务的全球性的供应商。通过使用公司的多晶圆批量和单晶圆的浸泡式、旋转喷雾式、汽相和超凝态过冷动力学等一整套清洗技术产品组合，客户能够实现他们的工艺性能、灵活性和生产能力目标。公司推出的支持服务项目包括了产品及工艺的提升，从而延长已安装的FSI设备的使用寿命，使世界范围内的客户的资本投资获得更高的回报。
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