CyberOptics Corporation（纳斯达克交易代码：CYBE）旗下全资子公司 CyberOptics Semiconductor 宣布推出 WaferSenseTM ATS（自动校准系统），这是对其无线操控类晶圆测量产品系列的一项引人注目的扩充。ATS 采用机器视觉来观测半导体设备的内部情况，并帮助避免代价高昂的晶圆误操作，晶圆误操作是高度自动化的半导体工厂中晶圆废弃的一个重要原因。
操作和维护现代200mm和300mm半导体制程设备的代价很高，这是因为它通常需要长时间的停机和昂贵的耗材。因此，设备和维护工程师正不断地寻求机会来缩短停机时间及更迅速地诊断和解决问题。设备的可用性和性能可以通过更快、更精确地校准晶圆传送位置而得到提升。现今设备中机器手臂“校准”过程（即决定晶圆传送坐标并将它们加载机器手臂的控制软件）要求技术人员手动操控机器手臂的动作并估计晶圆传送位置。这个过程不仅耗费人工，而且不准确，因为大多数校准位置的坐标是主观的目视结果。目前所应用的程序除了耗费人工且不准确之外，还要求在维护过程中使设备脱离生产线并被部分地拆除。
出自 CyberOptics Semiconductor 的 WaferSense ATS 是一种创新型测量技术，为自动控制处理提供精确的晶圆传送坐标以降低设备维护时间和晶圆报废。经由无线操控且类似晶圆，ATS能像晶圆一样进行操作。一旦被置于半导体设备内，通过使用机器视觉技术，它能“看见”标记出晶圆传送位置的目标, 如Load Lock与Process Chamber，并将数字化坐标传送给技术人员。由于无需拆除设备或将其冷却至维修可工作的温度以下，晶圆厂能够节省鉴定时间与耗材。ATS 通过GUI界面传输实况影像与实时坐标数据，从而使设备的检查与调整变得快速且容易。实况影像使工程师无需打开设备便能找到丢失或损坏的晶圆。
WaferSense ATS 可用于200mm和300mm的设备，并可精确到+0.1mm（x 轴与 y 轴）以及+0.5mm（z 轴）。操作容易的软件进行数据记录以便在后继的对比与分析工作中发现晶圆处理中的错误，同时帮助技术人员“训练”ATS 识别新的目标类型。真实的数据与可复验的坐标消除了技术人员之间在校准技术上的差别，消除了由于误操作造成的晶圆废料，从而最终提高良率。
CyberOptics Semiconductor 总经理 Craig Ramsey 表示：“由于组件线宽减小以及晶圆工厂自动化的增强，校准出精确且可复验的晶圆传送位置以获得最大的生产力和良率变得至关重要。WaferSense ATS 为维护工程师提供了坐标数据，因而使机器手臂传输坐标校准变得快速、准确且具再现性。凭借我们的 ATS，晶圆厂能够极大地减少停机时间和晶圆报废。”
WaferSense ATS 的主要规格：
• 200mm或300mm类晶圆实体规格
• x 轴和 y 轴的精确度达±0.1mm（±0.004英寸）；z 轴达±0.5mm（±0.02英寸）
• 包装——低脱气碳纤维，聚碳酸酯标签
• 内建的摄像机可以从半导体设备内部拍摄实况影像，同时由内建的影像处理器显示校准晶圆与设备内欲校准之目标间的 x、y、z 轴偏差
• 在校准晶圆的下方可测量出与目标的偏差量, 目标大小可从6.5mm至45mm（0.25英寸至 1.8英寸）
• 校准晶圆可以在不直接接触热源的情况下承受达 120˚C 的温度（至多5分钟）
• 能在真空下操作使设备能在故障处理和校准时处于密封状态
• TeachView™ 软件显示实况影像和偏差测量数据，并同时提供可选的偏差量数据记录和注释功能
• TeachTarget™ 帮助用户训练 ATS 分辨绝大多数圆形特征
• 蓝牙 (Bluetooth) 通信；USB 相容的连接
• 适用于 Windows® 2000、XP 和 Vista 操作系统
WaferSense ATS 产品包括校准晶圆、充电盒、USB 连接线和应用软件（TeachView 和 TeachTarget）。
WaferSense ATS 属于 WaferSense™ 系列产品，该系列产品还包括 Auto Leveling System (ALS) 和 Auto Leveling System for Reticles (ALSR)、精确的无线类晶圆设备，用于对半导体晶圆制程和自动化设备进行快速而精确的水平校准。WaferSense 产品能降低设备总拥有成本，而且无需对晶圆制程设备进行调整。
CyberOptics Semiconductor 简介：
CyberOptics Semiconductor 设计并提供半导体制程设备中测量关键参数的精密产品。Cyberoptics Semiconductor 是 CyberOptics Corp.（纳斯达克交易代码：CYBE）旗下子公司。CyberOptics Corp. 是一家为电子封装和半导体制造业提供改进制程良率和产能解决方案的世界领先企业。欲知详情，请访问网站 http://www.CyberopticsSemi.com，或发电邮至 CSsales@cyberoptics.com，或致电800-366-9131。
提示：文中所有商标和注册商标分别由其各自的持有人所有。
操作和维护现代200mm和300mm半导体制程设备的代价很高，这是因为它通常需要长时间的停机和昂贵的耗材。因此，设备和维护工程师正不断地寻求机会来缩短停机时间及更迅速地诊断和解决问题。设备的可用性和性能可以通过更快、更精确地校准晶圆传送位置而得到提升。现今设备中机器手臂“校准”过程（即决定晶圆传送坐标并将它们加载机器手臂的控制软件）要求技术人员手动操控机器手臂的动作并估计晶圆传送位置。这个过程不仅耗费人工，而且不准确，因为大多数校准位置的坐标是主观的目视结果。目前所应用的程序除了耗费人工且不准确之外，还要求在维护过程中使设备脱离生产线并被部分地拆除。
出自 CyberOptics Semiconductor 的 WaferSense ATS 是一种创新型测量技术，为自动控制处理提供精确的晶圆传送坐标以降低设备维护时间和晶圆报废。经由无线操控且类似晶圆，ATS能像晶圆一样进行操作。一旦被置于半导体设备内，通过使用机器视觉技术，它能“看见”标记出晶圆传送位置的目标, 如Load Lock与Process Chamber，并将数字化坐标传送给技术人员。由于无需拆除设备或将其冷却至维修可工作的温度以下，晶圆厂能够节省鉴定时间与耗材。ATS 通过GUI界面传输实况影像与实时坐标数据，从而使设备的检查与调整变得快速且容易。实况影像使工程师无需打开设备便能找到丢失或损坏的晶圆。
WaferSense ATS 可用于200mm和300mm的设备，并可精确到+0.1mm（x 轴与 y 轴）以及+0.5mm（z 轴）。操作容易的软件进行数据记录以便在后继的对比与分析工作中发现晶圆处理中的错误，同时帮助技术人员“训练”ATS 识别新的目标类型。真实的数据与可复验的坐标消除了技术人员之间在校准技术上的差别，消除了由于误操作造成的晶圆废料，从而最终提高良率。
CyberOptics Semiconductor 总经理 Craig Ramsey 表示：“由于组件线宽减小以及晶圆工厂自动化的增强，校准出精确且可复验的晶圆传送位置以获得最大的生产力和良率变得至关重要。WaferSense ATS 为维护工程师提供了坐标数据，因而使机器手臂传输坐标校准变得快速、准确且具再现性。凭借我们的 ATS，晶圆厂能够极大地减少停机时间和晶圆报废。”
WaferSense ATS 的主要规格：
• 200mm或300mm类晶圆实体规格
• x 轴和 y 轴的精确度达±0.1mm（±0.004英寸）；z 轴达±0.5mm（±0.02英寸）
• 包装——低脱气碳纤维，聚碳酸酯标签
• 内建的摄像机可以从半导体设备内部拍摄实况影像，同时由内建的影像处理器显示校准晶圆与设备内欲校准之目标间的 x、y、z 轴偏差
• 在校准晶圆的下方可测量出与目标的偏差量, 目标大小可从6.5mm至45mm（0.25英寸至 1.8英寸）
• 校准晶圆可以在不直接接触热源的情况下承受达 120˚C 的温度（至多5分钟）
• 能在真空下操作使设备能在故障处理和校准时处于密封状态
• TeachView™ 软件显示实况影像和偏差测量数据，并同时提供可选的偏差量数据记录和注释功能
• TeachTarget™ 帮助用户训练 ATS 分辨绝大多数圆形特征
• 蓝牙 (Bluetooth) 通信；USB 相容的连接
• 适用于 Windows® 2000、XP 和 Vista 操作系统
WaferSense ATS 产品包括校准晶圆、充电盒、USB 连接线和应用软件（TeachView 和 TeachTarget）。
WaferSense ATS 属于 WaferSense™ 系列产品，该系列产品还包括 Auto Leveling System (ALS) 和 Auto Leveling System for Reticles (ALSR)、精确的无线类晶圆设备，用于对半导体晶圆制程和自动化设备进行快速而精确的水平校准。WaferSense 产品能降低设备总拥有成本，而且无需对晶圆制程设备进行调整。
CyberOptics Semiconductor 简介：
CyberOptics Semiconductor 设计并提供半导体制程设备中测量关键参数的精密产品。Cyberoptics Semiconductor 是 CyberOptics Corp.（纳斯达克交易代码：CYBE）旗下子公司。CyberOptics Corp. 是一家为电子封装和半导体制造业提供改进制程良率和产能解决方案的世界领先企业。欲知详情，请访问网站 http://www.CyberopticsSemi.com，或发电邮至 CSsales@cyberoptics.com，或致电800-366-9131。
提示：文中所有商标和注册商标分别由其各自的持有人所有。
