诺发系统有限公司(NOVELLUS)推出VECTOR EXPRESS

本文作者:admin       点击: 2007-03-28 00:00
前言:
中国上海—诺发系统有限公司(Nasdaq股票代码:NVLS)今天正式推出VECTOR Express™新产品。VECTOR Express™是诺发公司300mm VECTOR等离子增强化学气相沉积(PECVD)平台的最新增强版本。VECTOR Express的工艺生产速度提高了40%,保持了业界领先的生产效率。此外,VECTOR Express还建立了薄膜工艺性能的新标杆,使该设备能够被延伸到45nm及以下工艺节点。

 

VECTOR简介

 

诺发于2000年推出VECTOR系统。VECTOR的推出彻底改变了300mm PECVD市场。这一业界领先的PECVD系统能够沉积先进的双嵌入式大马士革结构所需的各种电介质薄膜,是大批量生产的首选设备之一,也是装机量最大的300mm PECVD系统。该设备设计简单,能够确保系统具有最高的可靠性和正常工作时间。其占地面积只有竞争对手的三分之二,大大节约了工厂洁净室的地板空间。

 

 

诺发公司简介:

 

诺发系统有限公司(Nasdaq股票代码:NVLS)是全球领先的半导体工艺设备供应商。通过创新性新技术的开发和值得信赖的高生产效率的支持,该公司的产品能够为客户提供最大的应有价值。诺发是一家标准普尔500指数公司,总部位于加州圣何塞,分支机构跨越全球各个国家和地区。有关诺发公司的更多信息,请访问网站www.novellus.com。