半导体产业中惟一提供完全自动化组合研发平台的供货商Intermolecular 宣布ATMI─这家全球半导体产业特殊材料和高纯度材料应用解决方案龙头将采用其研发工作流程。Intermolecular的研发平台Tempus HPC包含一系列的设备系统与软件方法,可大幅缩短新材料、新工艺技术和新组件架构开发与整合的时程。
ATMI 执行长Doug Neugold 表示,“透过Intermolecular 的Tempus工作流程,将可缩短我们精密的数据导向研发流程,让我们在更短时间内提供客户更好的材料解决方案,大幅降低客户的研发成本。”ATMI 一直致力于最先进的半导体材料研发,并肯定Tempus Fluids 流程系统能透过完全自动化的晶圆测量和资料分析,高速同步处理多个材料研究实验的效率。
Intermolecular 执行长David Lazovsky 表示:“这次能与半导体材料领导厂商ATMI 公司合作,更加证明了我们的HPC 系统和方法可以提高研发生产力,让材料供货商、设备制造商和芯片厂商拥有研发效率差异化的竞争优势。”
Tempus Fluids-based 工作流程除了提供一系列工具将HPC 方法做多方面应用,如自我组装工艺、清洗工艺、液相光阻去除工艺、液相蚀刻和化学镀工艺外, 还包括针对实验设计、开发作业和数据管理所提供的专属信息系统,让客户透过低成本的开发、整合和测试作业,从众多的选项中迅速找到最佳方案,进而创造最大的研发投资报酬率。