今年Semicon Taiwan期间,由汉民投资超过10年的汉民微测(HMI)及汉辰科技(AIBT)两家公司,即将在台湾为用户举行技术研讨会,在关键奈米世代,电子束缺陷检测仪及低能量离子布植的超浅接合(USJ)技术,令市场瞩目。
设备产业往亚洲区靠拢
虽然2008年对设备材料业者而言,处于产业景气向下波段,但汉民创办人黄民奇表示,“产业景气循环就是这样,会下来也会回升上去。”
黄民奇分析,半导体设备产业的市场已往亚洲挪动。从资本支出(CAPEX)统计数字来看,包括日本、韩国、新加坡、中国及中国台湾地区的亚洲区,已经涵盖全球七,八成市场,因此亚洲绝对是应该优先照顾的市场。
奈米世代的技术挑战
在半导体设备产业耕耘31年汉民科技,于十几年前开始投资设备研发。众人普遍对于汉民为何选择离子植入机及电子束晶圆检测(e-Beam inspection)设备这两项技术投入,感到好奇。
黄民奇说,从个人历史看,这刚好是他踏入半导体设备产业界,所接触的前面两个产品。其次,汉民也掌握与长期伙伴TEL“不竞争、只合作”的原则,所要发展的设备,希望能跟TEL有互补的空间,不但完全没有竞争的可能,而且要跟TEL既有的产品线,产生综合效果。而这两项设备,刚好都合乎这个大原则。
“一个设备出来,对于产业能带来多大的冲击与影响?”这也是汉民的考虑之一。黄民奇了解,半导体技术进入奈米世代后,电子束缺陷检测及低能量离子布植技术,将是相当关键的重要技术,综合几个原则考虑下,汉民因此做成投资的决定。
客户肯定 掌声响起
电子束晶圆检测技术,在奈米世代之前,很多人只是拿来做开发。但进入奈米世代,从90nm之后,包括65nm、45nm及未来,就成了关键技术。甚至在DRAM生产在线,已经做在线(in-line)研发,而不是脱机(off-line)研发。
目前,全球主要晶圆厂(foundry)中都有汉民微测 (HMI)的电子束晶圆检测设备,除了中国台湾地区之外,包括日本、韩国、中国及新加坡等亚洲的生产重镇,都有装机。
据了解,汉民微测 (HMI)的电子束晶圆检测技术还被某大半导体公司相中,双方甚至直接在该半导体大厂的生产在线合作制程开发,成果令人满意。黄民奇认为获得这样的客户肯定,是相当大的鼓舞。
未来,除了晶圆厂外,DRAM厂客户的肯定,才是汉民微测 (HMI)市场占有率大幅增长的关键。
汉辰科技(AIBT)的低能量离子植入机比汉民微测 (HMI)的电子束晶圆检测设备稍晚推出,不但技术前瞻,而且是符合现代潮流的单芯片制程,目前已有两个客户开始在非常尖端制程上,进行严谨的测试。
重视伙伴 携手成长
对于投资开发前瞻半导体设备,黄民奇鼓励内部同仁时会说,大家是在做“人类从来没有做过的事”,感觉非常前卫。但在对待合作伙伴这件事情上,他却对仁义道德,无比讲究。
黄民奇说,汉民自创品牌,投资半导体设备,营销伙伴很重要。因为对市场而言,汉民不但是新加入者,而且离市场也比较远,对客户而言,汉民的技术服务及营运模式都比较难以理解,因此容易不相信汉民的产品可以用、而且技术也可以支持。这些营销上的阻力,是可以想见的。
还好汉民的伙伴,TEL,将汉民的产品引介给韩国、日本甚至美国客户,只是如今美国客户大都不喜欢盖厂,因此汉民决定好好就近耕耘亚洲市场。
黄民奇再三强调,合作伙伴很重要。汉民代理TEL的产品二十几年,很多技术都熟悉,所以汉民要是做的产品跟TEL竞争,逻辑上就不太对了。那样做违背诚信原则,跳进黄河也洗不清,应该回避。
黄民奇说,我们注重别人的智慧财产(IP),也珍惜过去的合作关系,产品的规划上,本来就应该找具有综效(synergy)的才对。如今,TEL与汉民在产品营销关系上合作,双方甚至在技术上进行合作,汉民微测 (HMI)的电子束晶圆检测设备,也在TEL作为制程研发之用。