陶氏电子材料 (Dow Electronic Materials)推出了 OPTIVISION 4540 化学机械研磨垫，该产品的设计目标是在研磨垫的使用寿命内实现低缺陷率和低拥有成本。这款新研磨垫使用了独特的聚合物化学组成和细孔结构，以达到使铜阻挡层研磨的缺陷率降至最低，并提供更高的介电层去除率。OPTIVISION 4540 研磨垫拥有双孔结构以精确控制研磨，并且在研磨垫使用寿命中提供一致的研磨垫表面。
OPTIVISION™ 4540 研磨垫可用于使用传统软垫的多种应用。尤其在铜阻挡层研磨方面，与 POLITEX 研磨垫产品相比，它在颤动和微划痕缺陷率方面取得了一个数量级的进步，从而实现了更高的生产良率。与 POLITEX 研磨垫相比，OPTIVISION 4540 研磨垫的四乙氧基硅烷 (TEOS) 去除率提高了40%，从而实现了更高的产量和更低的拥有成本。
这款研磨垫可与陶氏的 ACuPLANE 5100 系列研磨液一起使用，以实现更高性能。OPTIVISION 4540 研磨垫拥有多种尺寸和配置，包括最新的窗口选项，可用于目前的和先进的技术节点和平台。陶氏目前已进行 OPTIVISION 4540 研磨垫的试样提供，该产品将于今年第四季上市。
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關於陶氏
陶氏是一家多元化的化學公司，運用科學技術與“人元素” 的力量相結合，不斷改進推動人類進步的基本要素。陶氏為全球大約160個國家的客戶提供種類繁多的產品及服務，並將可持續發展的原則貫徹於化學和創新，為客戶提供各種優質的產品，包括純水、食品、藥品、塗料、包裝和個人護理產品等。2008年陶氏營業額達575億美元，在全球擁有員工46,000名。陶氏在全球35個國家有150個工廠，生產3300餘種產品。在2009年四月1日，陶氏收購全球領先的特殊材料製造商羅門哈斯公司( Rohm and Haas Company)。羅門哈斯2008年營業額達100億美元，在全球30個國家 擁有98家工廠，員工約15,000名。除特別注明外，本文提及的“陶氏”或“公司”是指陶氏化學公司及其附屬公司。瞭解更多有關陶氏的資訊，請訪問 http://www.dow.com 。
陶氏電子材料簡介
陶氏電子材料是為電子行業的材料和技術全球供應商，將創新的領導帶到半導體、互連、研磨、顯示、光電、發光二極體 (LED) 和光學市場。通過全球範圍內的先進技術中心，由有才能的陶氏科研人員和應用專家組成的團隊與客戶緊密合作，為新一代電子產品提供所需的解決方案、產品和技術服務。這些合作關係推動了陶氏的創造積極性。其主要的終端應用包括廣泛的消費電子產品，從個人電腦到電視監視器、移動電話、全球定位系統、汽車安全系統和航空電子設備。
OPTIVISION™ 4540 研磨垫可用于使用传统软垫的多种应用。尤其在铜阻挡层研磨方面，与 POLITEX 研磨垫产品相比，它在颤动和微划痕缺陷率方面取得了一个数量级的进步，从而实现了更高的生产良率。与 POLITEX 研磨垫相比，OPTIVISION 4540 研磨垫的四乙氧基硅烷 (TEOS) 去除率提高了40%，从而实现了更高的产量和更低的拥有成本。
这款研磨垫可与陶氏的 ACuPLANE 5100 系列研磨液一起使用，以实现更高性能。OPTIVISION 4540 研磨垫拥有多种尺寸和配置，包括最新的窗口选项，可用于目前的和先进的技术节点和平台。陶氏目前已进行 OPTIVISION 4540 研磨垫的试样提供，该产品将于今年第四季上市。
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關於陶氏
陶氏是一家多元化的化學公司，運用科學技術與“人元素” 的力量相結合，不斷改進推動人類進步的基本要素。陶氏為全球大約160個國家的客戶提供種類繁多的產品及服務，並將可持續發展的原則貫徹於化學和創新，為客戶提供各種優質的產品，包括純水、食品、藥品、塗料、包裝和個人護理產品等。2008年陶氏營業額達575億美元，在全球擁有員工46,000名。陶氏在全球35個國家有150個工廠，生產3300餘種產品。在2009年四月1日，陶氏收購全球領先的特殊材料製造商羅門哈斯公司( Rohm and Haas Company)。羅門哈斯2008年營業額達100億美元，在全球30個國家 擁有98家工廠，員工約15,000名。除特別注明外，本文提及的“陶氏”或“公司”是指陶氏化學公司及其附屬公司。瞭解更多有關陶氏的資訊，請訪問 http://www.dow.com 。
陶氏電子材料簡介
陶氏電子材料是為電子行業的材料和技術全球供應商，將創新的領導帶到半導體、互連、研磨、顯示、光電、發光二極體 (LED) 和光學市場。通過全球範圍內的先進技術中心，由有才能的陶氏科研人員和應用專家組成的團隊與客戶緊密合作，為新一代電子產品提供所需的解決方案、產品和技術服務。這些合作關係推動了陶氏的創造積極性。其主要的終端應用包括廣泛的消費電子產品，從個人電腦到電視監視器、移動電話、全球定位系統、汽車安全系統和航空電子設備。
