面向半导体和相关行业提供等离子刻蚀、沉积和热处理设备的领先制造商SPP Process Technology Systems (SPTS) 与澳大利亚格里菲斯大学今天宣布签署了一项致力于硅上碳化硅（SiC-On-Si）技术商业化的联合开发协议（JDA）。硅上碳化硅衬底在迅速发展的发光二极管（LED）、微电机系统（MEMS）和功率器件市场有广泛的用途。
碳化硅是生长制造LED所用的GaN薄膜的重要衬底。碳化硅具有更好的抗辐射能力、机械强度和热特性，因此也成为MEMS器件所使用的硅的替代材料，使之更适合恶劣环境。此外，碳化硅还被用于生产针对大功率、高频率应用的半导体器件，在这方面碳化硅的电特性显著优于普通硅。格里菲斯大学昆士兰微米和纳米技术中心（QMNC）下属的昆士兰微技术研究所（QMF）开发的新技术已经证明能够直接在低成本硅晶圆上生长结晶碳化硅。通过这项联合开发协议，SPTS将负责为这项技术的商业化开发热处理和设备技术。
硅上碳化硅器件所需的三项关键技术是：碳化硅淀积、蚀刻和氧化。QMNC在所有这些领域进行了面向商业化的研究。QMNC的运营总监Alan Iacopi表示："联合开发协议有助于把碳化硅淀积工艺技术转化为器件研究和开发活动，并通过对最大300毫米直径硅晶圆的成批加工为批量生产提供途径。SPTS在热处理上的实力使他们成为有吸引力的合作伙伴。" QMNC项目负责人、副主任Sima Dimitrijev同意这个观点，他表示："联合开发协议是我们碳化硅研究成果商业化的重要一步，特别是与SPTS这样有着全球影响力的合作伙伴合作。"
SPTS总裁兼首席执行官William Johnson表示："作为向MEMS、LED和功率器件市场提供固定设备的市场领先者，SPTS始终关注前沿开发机会。我们很高兴有机会与格里菲斯大学的优秀研究人员合作，商业化硅上碳化硅技术。为这一合作提供生产技术，帮助开发和提供新材料加工技术，这是我们的一个重要的企业发展战略。联合开发协议将进一步增强我们所服务市场的产品组合，将有助于扩大我们的客户群。"
关于SPP Process Technology Systems
SPP Process Technology Systems 成立于2009年10月，是由Surface Technology Systems和收购的Aviza Technology资产合并而成。公司是Sumitomo Precision Products Co., Ltd.的全资子公司，面向全球半导体行业和相关市场设计、制造、销售和支持高级半导体资本设备和工艺技术。这些产品广泛应用于各类细分市场，包括研发、数据存储、MEMS与纳米技术、先进3D封装、LED及通信电源集成电路。
有关SPTS的更多信息，请访问：www.spp-pts.com 。
关于QMNC 和QMF
昆士兰微米和纳米技术中心（The Queensland Micro- and Nanotechnology Centre）是格里菲斯大学的一个科学工程研究中心，重点研究开发智能净化系统所必须解决的微米和纳米技术问题。中心拥有材料开发、传感、微电子工程与微米技术以及凝聚态基本理论专业人才，涉及物理、化学、应用数学和工程等学科。昆士兰微米技术研究所（The Queensland Microtechnology Facility）隶属于QMNC，致力于实现硅上碳化硅技术的商业化。它是昆士兰州政府和澳大利亚国家制造研究所（National Fabrication Facility）出资建立的，拥有大型硅晶圆加工处理能力，支持用于机械和半导体器件的硅上碳化硅材料的开发。
更多信息，请访问：www.griffith.edu.au/qmnc 。
碳化硅是生长制造LED所用的GaN薄膜的重要衬底。碳化硅具有更好的抗辐射能力、机械强度和热特性，因此也成为MEMS器件所使用的硅的替代材料，使之更适合恶劣环境。此外，碳化硅还被用于生产针对大功率、高频率应用的半导体器件，在这方面碳化硅的电特性显著优于普通硅。格里菲斯大学昆士兰微米和纳米技术中心（QMNC）下属的昆士兰微技术研究所（QMF）开发的新技术已经证明能够直接在低成本硅晶圆上生长结晶碳化硅。通过这项联合开发协议，SPTS将负责为这项技术的商业化开发热处理和设备技术。
硅上碳化硅器件所需的三项关键技术是：碳化硅淀积、蚀刻和氧化。QMNC在所有这些领域进行了面向商业化的研究。QMNC的运营总监Alan Iacopi表示："联合开发协议有助于把碳化硅淀积工艺技术转化为器件研究和开发活动，并通过对最大300毫米直径硅晶圆的成批加工为批量生产提供途径。SPTS在热处理上的实力使他们成为有吸引力的合作伙伴。" QMNC项目负责人、副主任Sima Dimitrijev同意这个观点，他表示："联合开发协议是我们碳化硅研究成果商业化的重要一步，特别是与SPTS这样有着全球影响力的合作伙伴合作。"
SPTS总裁兼首席执行官William Johnson表示："作为向MEMS、LED和功率器件市场提供固定设备的市场领先者，SPTS始终关注前沿开发机会。我们很高兴有机会与格里菲斯大学的优秀研究人员合作，商业化硅上碳化硅技术。为这一合作提供生产技术，帮助开发和提供新材料加工技术，这是我们的一个重要的企业发展战略。联合开发协议将进一步增强我们所服务市场的产品组合，将有助于扩大我们的客户群。"
关于SPP Process Technology Systems
SPP Process Technology Systems 成立于2009年10月，是由Surface Technology Systems和收购的Aviza Technology资产合并而成。公司是Sumitomo Precision Products Co., Ltd.的全资子公司，面向全球半导体行业和相关市场设计、制造、销售和支持高级半导体资本设备和工艺技术。这些产品广泛应用于各类细分市场，包括研发、数据存储、MEMS与纳米技术、先进3D封装、LED及通信电源集成电路。
有关SPTS的更多信息，请访问：www.spp-pts.com 。
关于QMNC 和QMF
昆士兰微米和纳米技术中心（The Queensland Micro- and Nanotechnology Centre）是格里菲斯大学的一个科学工程研究中心，重点研究开发智能净化系统所必须解决的微米和纳米技术问题。中心拥有材料开发、传感、微电子工程与微米技术以及凝聚态基本理论专业人才，涉及物理、化学、应用数学和工程等学科。昆士兰微米技术研究所（The Queensland Microtechnology Facility）隶属于QMNC，致力于实现硅上碳化硅技术的商业化。它是昆士兰州政府和澳大利亚国家制造研究所（National Fabrication Facility）出资建立的，拥有大型硅晶圆加工处理能力，支持用于机械和半导体器件的硅上碳化硅材料的开发。
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