NOVELLUS (诺发公司) 始创翻新系统业务

本文作者:admin       点击: 2005-04-18 00:00
前言:
【2005年3月15日,中国上海讯】 诺发公司是全球半导体行业在高级沉积、表面处理和化学机械平坦化工艺领域的生产力和技术领先企业。该公司今天宣布开通翻新系统业务(Refurbished Systems Business ),以满足特定市场区域对200mm制造设备不断增长的需求。作为向200mm制造的铝互连细分市场提供设备的始创者,翻新系统业务无疑将有效平衡公司的全球服务和物流渠道,为客户提供可以取代新系统的翻新的工艺设备,以实现真正的更低成本制造。
当目前最尖端的技术都聚焦在300mm晶圆制造时,更低成本的200mm晶圆制造设备(一般是大于0.18um技术标准)仍然在亚洲的几个地区特别是中国继续扩张发展。来自市场研究公司Gartner Dataquest 的报告表明,自1997年以来,200mm晶圆制造已获近48%的增长,并且多数发生在亚洲。同期, 全球范围内30家新增的300-mm制造厂也已经开始了量产。这种双重趋势衍生了对多技术标准环境下有成本竞争优势的设备的同步需求。正是看到了客户的需求和反馈,诺发公司的产品线将涵盖翻新设备,以满足客户对成本更低的200mm设备的需求,进一步完善现有的用于200mm和300mm制造厂的高端产品系列。
诺发公司的翻新系统业务将从等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、钨化学气相沉积(WCVD)以及高密度等离子体化学气相沉积(HDP CVD)等业务部门开始。化学机械研磨(CMP)和光阻去除设备的翻新将在稍后陆续展开。同时,诺发公司还将根据客户的需求定制出一整套的系统改进以及综合全面的技术支持。测试表明诺发公司翻新的系统与新系统有着相同的质量水平,并将由分布在全球各地的系统专家和技术人员提供安装、服务和支持,依托于这些认知,我们的客户必将满意于系统带来的信心和可预见性。