总公司位于英国韦尔斯New Port的Surface Technology Systems plc(STS)(LSE:伦敦股市交易所:SRTS)今日宣布其新产品 ”Pegasus”(古希腊星座名：飞马座) 的全新离子反应式深硅刻蚀机，可以将硅刻蚀的制程最佳化，更可大幅改善制程能力的稳定度及机台的可信赖度。长久以来，STS一直在微机电系统(Micro Electronic Mechanical System，简称MEMS) 及其它相关的制程中所需的深硅刻蚀制程技术居于大幅领先的地位。
Pegasus延续STS一直引以为傲的Advance Silicon Etch (ASE)制程技术。 此制程技术植基于 Bosch 制程，加以开发改良，配合以硬件上的设计改善，务期使能在硅刻蚀上达到每分钟大于25µm的刻蚀速度.。配合以绝佳的刻蚀外型控制及大幅提升光罩的选择比。这些成就可达成客户对高产能、高良率的总体量产要求。
组成Pegasus机型的各项模块功能，配合以全新的改良和提升，其中值得一提的是全新的高密度、高均匀度的电浆源产生器的设计。此高密度的非耦合式电浆源产生器，经证明与同型市场上现有的机台相比，可提高30%的刻蚀速度及高于35%的光罩选择比。
Pegasus此一独步的电浆源产生器，可以使电浆在晶圆表面的分布更为均匀，意味其可改善对于晶圆加工所需求的蚀刻速度及对于特殊尺寸要求的控制。除此之外，Pegasus更具备了在硬件及软件上的各项优势，可应用于将刻蚀侧边粗糙度的平滑化，对于蚀刻外型角度的可控制性，同时在此要求下仍然能维持高刻蚀速度，更可整合搭配STS已专利的Parameter Ramping及Silicon On Insulator (SOI) 的各项制程技术。
Pegasus更具备了对于机台稳定性、维修方便的模块化设计概念，降低了机台的占地面积并使其容易维护。综合以上Pegasus所具备的各项特点及优势更能确保此机台的高菜单现，降低COO (Cost of ownership )以达到工业化量产的目标。
此一机型并可完全兼容于STS的模块平台组合。从单一芯片存取的小量型机台一直到量产型的各工作平台，以期使客户能够顺利地从研发一直到量产时的各项转移需求。
关于Pegasus
STS研发部主管Leslie Lea评论如下：Pegasus 的发表是一个相当重大的成就，Pegasus 的推出使得许多在MEMS市场上的很多先进设计及研发阶段的制程更加速趋向商业化，诸如现在市场上对于先进封装技术所要求的高刻蚀速度、高选择比的穿透式(Via Hole )蚀刻的内部连接层interconnector得以实现。诸如：光电及生物芯片所需的System in a Package (SiPs) 相关MEMS 制程技术得以实现，进而使各工业领域上所要求从微小技术到奈米技术的相关需求。 Pegasus 将扮演不可或缺的角色。
“ 在过去12个月来 Pegasus经过了各项严格和密集的测试，从既有的各项产品与制程及由客户来的各项要求。从各个结论再次的证明了STS仍成功地在ASE技术上领先各同型厂商。随着Pegasus的正式推出，我们已经从客户方面确认了几个量产需求的订单。我们预期随着此Pegasus机型的导入，可在深硅刻蚀制程不论是研发或量产需求的客户得到更大的回响，预期会有更多的订单需求。“STS 副总裁Mr. Mutsuo Mukuda做了以上表示。
About Surface Technology Systems plc
STS designs and manufactures a range of highly specialized systems incorporating innovative technology used in the production of semiconductors and related devices and is a leader in plasma based etch and deposition technologies for processing non ‘mainstream’ semiconductor devices. STS serves a range of applications in several emerging sectors within the telecommunications, data storage, advanced packaging, MEMS and Nanotechnology.
STS is the market leader in deep silicon etching for the growing MEMS market, offering patent-protected technology. In addition, STS has a strong presence in each of its other served markets and distributes its process solutions worldwide through an experienced sales and service operation. The Group currently markets in over 30 countries and has an installed base of over 800 systems. For more information about STS please see http://www.stsystems.com
Pegasus延续STS一直引以为傲的Advance Silicon Etch (ASE)制程技术。 此制程技术植基于 Bosch 制程，加以开发改良，配合以硬件上的设计改善，务期使能在硅刻蚀上达到每分钟大于25µm的刻蚀速度.。配合以绝佳的刻蚀外型控制及大幅提升光罩的选择比。这些成就可达成客户对高产能、高良率的总体量产要求。
组成Pegasus机型的各项模块功能，配合以全新的改良和提升，其中值得一提的是全新的高密度、高均匀度的电浆源产生器的设计。此高密度的非耦合式电浆源产生器，经证明与同型市场上现有的机台相比，可提高30%的刻蚀速度及高于35%的光罩选择比。
Pegasus此一独步的电浆源产生器，可以使电浆在晶圆表面的分布更为均匀，意味其可改善对于晶圆加工所需求的蚀刻速度及对于特殊尺寸要求的控制。除此之外，Pegasus更具备了在硬件及软件上的各项优势，可应用于将刻蚀侧边粗糙度的平滑化，对于蚀刻外型角度的可控制性，同时在此要求下仍然能维持高刻蚀速度，更可整合搭配STS已专利的Parameter Ramping及Silicon On Insulator (SOI) 的各项制程技术。
Pegasus更具备了对于机台稳定性、维修方便的模块化设计概念，降低了机台的占地面积并使其容易维护。综合以上Pegasus所具备的各项特点及优势更能确保此机台的高菜单现，降低COO (Cost of ownership )以达到工业化量产的目标。
此一机型并可完全兼容于STS的模块平台组合。从单一芯片存取的小量型机台一直到量产型的各工作平台，以期使客户能够顺利地从研发一直到量产时的各项转移需求。
关于Pegasus
STS研发部主管Leslie Lea评论如下：Pegasus 的发表是一个相当重大的成就，Pegasus 的推出使得许多在MEMS市场上的很多先进设计及研发阶段的制程更加速趋向商业化，诸如现在市场上对于先进封装技术所要求的高刻蚀速度、高选择比的穿透式(Via Hole )蚀刻的内部连接层interconnector得以实现。诸如：光电及生物芯片所需的System in a Package (SiPs) 相关MEMS 制程技术得以实现，进而使各工业领域上所要求从微小技术到奈米技术的相关需求。 Pegasus 将扮演不可或缺的角色。
“ 在过去12个月来 Pegasus经过了各项严格和密集的测试，从既有的各项产品与制程及由客户来的各项要求。从各个结论再次的证明了STS仍成功地在ASE技术上领先各同型厂商。随着Pegasus的正式推出，我们已经从客户方面确认了几个量产需求的订单。我们预期随着此Pegasus机型的导入，可在深硅刻蚀制程不论是研发或量产需求的客户得到更大的回响，预期会有更多的订单需求。“STS 副总裁Mr. Mutsuo Mukuda做了以上表示。
About Surface Technology Systems plc
STS designs and manufactures a range of highly specialized systems incorporating innovative technology used in the production of semiconductors and related devices and is a leader in plasma based etch and deposition technologies for processing non ‘mainstream’ semiconductor devices. STS serves a range of applications in several emerging sectors within the telecommunications, data storage, advanced packaging, MEMS and Nanotechnology.
STS is the market leader in deep silicon etching for the growing MEMS market, offering patent-protected technology. In addition, STS has a strong presence in each of its other served markets and distributes its process solutions worldwide through an experienced sales and service operation. The Group currently markets in over 30 countries and has an installed base of over 800 systems. For more information about STS please see http://www.stsystems.com
