建构顺畅晶圆制程的幕后功臣-ASYST Technologies, Inc.

本文作者:admin       点击: 2003-11-01 00:00
前言:
影响整个制程阶段流畅与否的关键,除了个别制程在作业上的顺利与否之外,其背后一个重要的关键乃是如何让个别工作站之间的制程得以顺畅的运作,而在各式各样自动化物料搬运系统(Automated Material Handling System; AMHS)的运作之下,使得流畅而无误的晶圆制程自动化得以实现。
除了晶圆生产线的AMHS之外成立于1984年,总公司位于美国加州Fermont的Asyst Technologies, Inc(以下简称ASYST),是一间专业提供晶圆生产线所需的自动化设备的供应业者。虽一般对于它的认识并没有比对于那些晶圆制造业者的认识来得多,但是其所提供的AHMS却是影响整个晶圆制程运作的重要关键。
此外,该公司还能够提供的产品范围包括有包围隔离系统(encompassing isolation system)、在制品物料管理(work-in-process material management)、基板处理用机器人(substrate-handling robotics)、自动传输与放置系统(automated transport and loading systems),以及用于平面显示器的AMHS等等。
根据ASYST的亚太营运总裁梁炽庭先生与该公司台湾分公司(亚仕帝科技股份有限公司)总经理廖政祥先生指出,ASYST早在台积电建设第一条晶圆生产线时便参与其中,因此与本地晶圆制造业者维持着良好的合作关系。
事实上,从摩托罗拉的天津厂、台积电、联电、中芯、宏力等等,预计占了全球晶圆代工业者的生产线的六成,都是该公司的客户。面对当前12吋晶圆生产线的建设兴起,ASYST认为由于每个新生产线在AMHS、前端装置与工具等部份所投资的金额将有机会接近7500万美元,毫无疑问地,那将是该公司值得关注的新兴成长空间。若以目前在建的12吋晶圆生产线的建厂情形来看,包括台积电、联电、力晶、Elpida等业者正已经或即将采用该公司的解决方案。
值得一提的是,该公司于2002年9月正式将其制造业务全部外包给EMS大厂-Solectron,使得ASYST成为第一家将制造功能外包而专注于解决方案开发、设计与服务的半导体设备业者。如此一来,让该公司有更多的余力发展本身的技术优势,以配合先进制程的发展,推出各种相应的解决方案。除此之外,该公司也在2002年10月与日本神钢电机合资成立ASYST SHINKO股份有限公司,针对晶圆及LCD生产在线移动晶圆及LCD所需的搬运系统解决方案。