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吉时利(Keithley)引进第三代晶圆射频 (RF) 测量功能

时间:2005-04-17 00:00来源:compotechasia.com 作者:admin 点击:
吉时利仪器公司 (NYSE:KEI)一家为不断增长的测量需求提供解决方案的市场领导者,最近发布了用于半导体生产过程中参数测试的第三代晶圆射频 (RF)测量功能。对于吉时利公司第三代射频(RF)参数测量系统方案(是一个选配件),其独特的新内容是能提供连续、自动、实时的测试质量监控,在提供优等质量结果的同时,也获得了最高测量产能、最低运行成本,以及易于使用的特点。此外,吉时利公司的射频(RF) 参数测量选项是目前惟一一个在全球范围内获得验证的,适合于200mm和300mm晶圆制造工厂的半导体参数射频(RF)测试系统,适用于包括高性能逻辑电路生产和高性能模拟集成电路生产。 
较高的测量完整性使用户无需请射频(RF)的专家人工检查原始数据曲线的异常情况,因为异常情况将会对可疑的射频 (RF) 测量结果进行提示。较高的测量完整性也避免了再探测和再加工的高成本,使得它在操作上与高效务实的300mm实验室兼容。 
吉时利公司基于VNA的解决方案与基于ENA或PNA的解决方案相比,具有更高的信息吞吐量和完善的可重复性。
较低运行成本。SofTouch 选件通过最小化探针的Overdrive,从而使探针卡达到最大的使用寿命,同时满足了探针触头的测量质量标准。对于射频 (RF) 探针卡touchdown计数,实验室估计值为100倍使用寿命增长率,并且探针卡的成本也降低了相同倍数。吉时利公司的KRM选件集成了射频 (RF) 探针卡,可连续、自动监控探针接触,保证探针卡的使用寿命,进一步降低探针卡成本。
吉时利公司的40GHz RF选件解决方案可与实验室现有的DC产品的全自动探针台一同工作。与其它要求购买专业级射频 (RF) 探测器的解决方案相比,吉时利公司的解决方案降低了2/3的初始采集成本,并降低了维护和操作成本。运营成本也明显降低了,因为直流 (DC) 和射频 (RF) 测试可在相同的设备上以单嵌入模式运行,无需在仅适用于直流 (DC)的测试仪和仅适用于射频 (RF) 的测试仪之间移动圆片。此外,不像其它类似的产品,仅提供一个射频 (RF) 探针卡供应商,而吉时利公司现在有了这个新的系统,可提供三个供应商供用户选择。这使探针卡成本降到了最低,并在生产量上升时能提供更多可预测的、稳定的高置信度供应链。 
更为广泛的应用。吉时利公司的射频 (RF) 选件测量功能包括完善的软件组合,使用户能快速获得大量质量可靠的射频 (RF) 数据,可使其被广泛应用。该测量功能也是基于已经经过现场试验证明和成熟的操作GUI,全世界的试验室都已经证明该GUI的有效性。 
对于高k晶体管的生产参数工艺控制,吉时利公司的RF-CV方法可代替传统的CV或MFCV测量,使生产实验室更牢靠地控制亚65nm高性能逻辑IC电路上的栅氧厚度。对于高性能模拟电路或RF IC电路,吉时利公司的射频 (RF) 选件将射频 (RF) 电路-模型验证时间减少到了两周或更短,而采用
其它射频 (RF) 测量选件则需要两个月或更长。吉时利公司的射频 (RF) 选件解决方案通过缩短上市时间,为顾客提供了一个重要的竞争优势。RF IC公司也可以采用吉时利公司的射频 (RF) 选件解决方案,用来实现 BiCMOS 标准品质因数的参数生产工艺控制,这些品质因数包括 ft 或fmax。同样,制造SOC的公司也可以使用吉时利公司的射频 (RF) 测量功能,用来实施基准电路和品质因数的功能测试,这些基准电路和品质因数包括 LNA 和蜂窝电话过滤器。 
RF支持的深度。吉时利的射频(RF)测量功能由其在世界各地在射频领域有多年经验的技术人员作为支持。吉时利应用工程师在生产环境中的射频测试设计方面有丰富的经验,包括用于高性能逻辑IC的晶体管栅电容的RF-CV测量以及应用于高性能模拟IC的电感和过滤器。另外,吉时利的半导体物理学家能够帮助客户对其测量结果进行解读,并将它们应用到更好的加工控制之中。 
可用性。吉时利第三代射频 (RF) 选件测量功能可以直接用于工厂发货的S680和S470两种新型号的系统。也可以对过去15年内已经安装的现有S600和S400系列型号进行现场改造,将其作为吉时利承诺不断为客户提供行业领先的重要设备重新利用的一部分。(责任编辑:admin)
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