Keithley仪器公司宣布推出其具有40GHz射频测量性能的S630DC/RF参数测试系统。此性能扫清了对先进半导体器件对超薄栅极介质进行精确量测的主要障碍。
时至今日，我们还无法对接近0.5nm厚的栅极介质进行精确的电量测，特别对无线通讯器件。在对这些器件进行测试的时候，测量中的高损耗系数以及相位误差（可能引起高于20GHz的谐波频率）将导致不准确的测量结果。Keithley的高频（40GHz）射频测量技术扫清了这个障碍。通过设计与测试头可靠的射频连接并采用独立管脚测试（per-pin）技术，此系统实现了无与伦比的精确度与可重复性。此外，该系统还采用了先进的矢量网络分析仪（VNA）和直流/射频探针卡技术。其固有的直流分辨率为100aA和100nV。这个系统还支持300mm自动测量标准，并兼容200mm和300mm探针台。
S630DC/RF测试系统40GHz的性能使得对超过目前设计结点的超薄栅极介质的精确量测成为可能。而且性能优异的40GHz信号通路赋予目前在3-6GHz量程对栅极介质进行的测量更加卓越的分辨率，而这是从前无法实现的。通过不断提供精确的测量，这些系统降低了重复工作量以及为检验读数进行的重复测量 — 用户进行一次测量就可以得到准确的结果，这也降低了测试成本。
S630DC/RF 40GHz测试系统是半导体测试设备厂家以及该行业一流的VNA和直流/射频探针卡系统供应商共同合作的。Anritsu公司的自校准40GHz VNA和GGB Industries的高频探针卡是该测量技术的重要组成部分。此外，测试头的设计在DUT附近设置了复数阻抗偏压，可以在VNA的最大频率上进行多偏压电容测量。高频率降低了电介质损耗，因此确保了测量的精确性。与S630DC/RF测试系统相配套的是标准的、具有完备支持的测试环境 — Keithley测试环境（KTE）。测试结果可以轻松的输入各种器件模型提取软件，如BSIMPro™、IC CAP和UTMOST™。KTE USERLIB宏指令计算s-参数并对s-参数进行标准还原到射频参数，以用于量测和工艺监控。VNA、内连、探针卡适配器、探针卡、以及校准基板都作为一个完整的系统进行规范和校准。
KTE和S630DC/RF能够对FRAMs、MRAMs以及PCRAM/OUM等器件进行量测。此参数测试系统可以提供良好的准确度和精密度，这是半导体制造对具有高损耗系数的复数阻抗进行测量时不可或缺的，而早前的交流测量技术并无法提供此种性能。另外，此硬件和软件共同组成了一个完全可扩展的解决方案，可以对目前以及将来的工艺和材料进行量测及模型化。吉时利仪器公司（中国）：800-810-1334
时至今日，我们还无法对接近0.5nm厚的栅极介质进行精确的电量测，特别对无线通讯器件。在对这些器件进行测试的时候，测量中的高损耗系数以及相位误差（可能引起高于20GHz的谐波频率）将导致不准确的测量结果。Keithley的高频（40GHz）射频测量技术扫清了这个障碍。通过设计与测试头可靠的射频连接并采用独立管脚测试（per-pin）技术，此系统实现了无与伦比的精确度与可重复性。此外，该系统还采用了先进的矢量网络分析仪（VNA）和直流/射频探针卡技术。其固有的直流分辨率为100aA和100nV。这个系统还支持300mm自动测量标准，并兼容200mm和300mm探针台。
S630DC/RF测试系统40GHz的性能使得对超过目前设计结点的超薄栅极介质的精确量测成为可能。而且性能优异的40GHz信号通路赋予目前在3-6GHz量程对栅极介质进行的测量更加卓越的分辨率，而这是从前无法实现的。通过不断提供精确的测量，这些系统降低了重复工作量以及为检验读数进行的重复测量 — 用户进行一次测量就可以得到准确的结果，这也降低了测试成本。
S630DC/RF 40GHz测试系统是半导体测试设备厂家以及该行业一流的VNA和直流/射频探针卡系统供应商共同合作的。Anritsu公司的自校准40GHz VNA和GGB Industries的高频探针卡是该测量技术的重要组成部分。此外，测试头的设计在DUT附近设置了复数阻抗偏压，可以在VNA的最大频率上进行多偏压电容测量。高频率降低了电介质损耗，因此确保了测量的精确性。与S630DC/RF测试系统相配套的是标准的、具有完备支持的测试环境 — Keithley测试环境（KTE）。测试结果可以轻松的输入各种器件模型提取软件，如BSIMPro™、IC CAP和UTMOST™。KTE USERLIB宏指令计算s-参数并对s-参数进行标准还原到射频参数，以用于量测和工艺监控。VNA、内连、探针卡适配器、探针卡、以及校准基板都作为一个完整的系统进行规范和校准。
KTE和S630DC/RF能够对FRAMs、MRAMs以及PCRAM/OUM等器件进行量测。此参数测试系统可以提供良好的准确度和精密度，这是半导体制造对具有高损耗系数的复数阻抗进行测量时不可或缺的，而早前的交流测量技术并无法提供此种性能。另外，此硬件和软件共同组成了一个完全可扩展的解决方案，可以对目前以及将来的工艺和材料进行量测及模型化。吉时利仪器公司（中国）：800-810-1334
